截至2026年3月16日 13:18，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)强势上涨1.18%，成分股神工股份上涨5.03%，金宏气体上涨4.77%，和林微纳上涨4.43%，华海诚科，艾森股份等个股跟涨。科创半导体设备ETF鹏华(589020)上涨1.14%，最新价报1.33元。
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